日前，由凌云光参与的科技部2019年国家重点研发计划“硅基MEMS高深宽比结构多模式光学测量技术”项目中期评审会在中国科学院微电子研究所召开。值得一提的是，该项目是凌云光承担的首个国家重点研发计划项目。
本次会议由工信部产业发展促进中心组织，专家组组长由东南大学黄庆安教授担任，来自中科院微电子所、天津大学、华中科技大学、凌云光、北京大学等课题承担单位，以及负责第三方评测的中国计量院的专家等30余名代表到会。凌云光作为项目课题4的负责单位，团队成员张腾飞、胡伯源、何明扬、芦恒雪、赵书芬代表公司参加评审。
会上，项目负责人陈晓梅从项目背景与目标、总体进展、阶段性成果、中期现场检查情况及整改、财务与组织管理等方面，对MEMS高深宽比阵列、单体微沟槽深度、侧壁角等测量难度与实现方法等内容进行了详细汇报。随后，各课题1-5的代表做分课题的汇报，课题4核心骨干张腾飞对课题主要承担的无损测量验证样机开发，包括软硬件设计、结构设计等思路要点，以及相关的阶段性成果做了充分的介绍与说明。
与会专家组认真听取了项目汇报，审查了项目中期检查资料，现场观看了项目实验平台的搭建与演示，对项目相关情况进行了质询，项目负责人及相关课题负责人对专家组提出的质询进行了详细回复。专家组对项目中期进展情况给予了充分肯定，一致同意项目通过中期检查，并对项目的下一步实施提出了相关建议。
此次顺利通过工信部中期评审，标志着项目已完成中期预定任务、达到中期预期目标，进入项目最终目标实施阶段。
2024-10-09
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